溅射镀膜
磁控溅射原理:电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子沉积到基层表面形成膜层
溅射镀膜特点:
![]() 溅射镀膜因离化方式的不同,使之形成的膜层颗粒细小,可用于光学级别镀膜。 ![]() 因为离化方式,溅射镀膜的膜层沉积率低,作为工业镀膜来讲生产效率低下。 ![]() 溅射镀膜因颗粒细,缓慢沉积再配合适当装载方式可实现高精度镀膜。 ![]() 相对于电弧镀膜,溅射镀膜单个离子能量低,与基体间的结合力不高,易于剥离。 ![]() 溅射镀膜在制备复合涂层时工艺控制复杂,设备需要更高的配置。
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